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龙门双驱三轴精密活动平台

沉复定位精度 ±1μm

高动态响应个性

低静态抖动

急剧整定

支持非标定造

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|  产品详情

技术指标

 数据

有效行程

X轴:300mm    Y轴:300mm

最大速度

X轴:1000mm/s    Y轴:1000mm/s

最大加快度 

X轴:0.6G    Y轴:0.6G

沉复定位精度

X轴:±0.5μm  Y轴:±1μm   θ轴：±2arcsec

直线度

X轴:±4μm   Y轴:±4μm

行走平面度

X轴:±5μm   Y轴:±4μm

XY正交度 

±5μm 

最大负载

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm
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